【技術情報】到達真空度

極低圧における吸着等温線測定精度が高まり、マイクロ孔解析の信頼性が高ま…

マイクロ孔の解析や表面分析において、超高真空下での吸着等温線測定の 重要性が高くなっています。 現在、ターボ分子ポンプに代表されるように、クリーンな真空を得ることは 技術的に可能ですが、定容量法ガス吸着装置は複数のバルブと配管・ ジョイントを有する為、サンプル部を高真空に到達することは困難です。 図は、電磁弁と空気作動弁の放出ガスの違いを示しています。 当社のホームページに...

メーカー・取り扱い企業： マイクロトラック・ベル株式会社