DLC（ダイヤモンド状炭素）成膜装置

医療用途・光学部品に！イニシャル、ランニングコスト低減ができるプラズマ…

『ダイヤモンドライクカーボンの成膜装置』は、熱陰極PIG(ペニング イオンゲージ放電形式）プラズマCVD装置です。 低温かつ高真空での処理を可能とし､硬度と平滑性に優れた DLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜の形成を実現。 他方式に比べ基板に入射するイオンの量とイオンのエネルギーをそれぞれ 独立して制御できる為、極めて...

メーカー・取り扱い企業： 東製株式会社