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コンパクトな卓上サイズで3源のカソードを搭載。絶縁薄膜、酸化物・窒化物…
スパッタ方式：RFマグネトロンスパッタ方式 カソード：φ2インチ×3源/水冷式 スパッタアップ スパッタ電源：RF電源 13.56MHz Max. 200W(手動式マッチングユニット付) 到達真空度：10^-4 Pa台 寸法： SVC-700RFIII(制御ユニット)：W370×D310×H195mm RF CONTROL UNIT：W370×D310×H158mm チャンバー...
メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社
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