• 薬物代謝に関わる遺伝子多型解析 製品画像

    薬物代謝に関わる遺伝子多型解析

    PRマスアレイ法により複数の遺伝子多型を同時に解析できます

    薬物の代謝活性には個人差があり、この違いは遺伝子多型に起因するとされています。ゲノム薬理学(PGx:Pharmacogenomics)分野では、遺伝子多型を調べることで、医薬品の効果や副作用、薬の組み合わせの影響などを考慮したオーダーメイド医療への応用が期待されています。 本資料では、マスアレイ法によるデザイン済み解析ツールを用いた薬物代謝に関わる遺伝子多型解析について紹介します。20の薬物代謝...

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  • 【分析事例】MSDMによる有機ELデバイスの評価 製品画像

    【分析事例】MSDMによる有機ELデバイスの評価

    質量スペクトルを可視化することで、より高精度な解析が可能です

    有機EL(OLED)は高精細ディスプレイ向けパネルや照明用など多様な用途に用いられており、層構造解析や劣化解析のニーズが高まってきていますが、様々な有機材料を組み合わせて形成されているため、元素分析だけでは一部の現象しか捉えることができません。 本資料では、TOF-SIMSによりOLEDの深さ方向分析データを取得し、MSDM(Mass Spectra Depth Mapping)により解析した事...

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  • 【分析事例】高麗人参 生薬成分のLC/MS/MS分析 製品画像

    【分析事例】高麗人参 生薬成分のLC/MS/MS分析

    ギンセノシド6種(Rb1,Rc,Rd,Re,Rg1,Rg3)の一斉分析

    漢方薬として広く用いられる高麗人参の主成分はギンセノシド(ジンセノサイド)と呼ばれるサポニンです。 ギンセノシドは糖の付き方などで分類され、現在では約30種類が発見されています。 本事例ではギンセノシドについてLC/MS/MSにて分析した事例をご紹介します。LC/MS/MSではMRMのダブルフィルタリング効果によって6種類の類似した構造の化合物のピークを分離することができ、一斉に定性・定量分析...

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  • 【分析事例】三次元培養ヒト皮膚を用いた経皮吸収評価 製品画像

    【分析事例】三次元培養ヒト皮膚を用いた経皮吸収評価

    同一試料の分布評価と定量分析が可能

    医薬品・化粧品の有効性・安全性試験において、近年動物実験代替法の開発が進められており、中でも三次元培養ヒト皮膚による試験方法が注目されています。 そこで本事例ではフランツセルを用いてインドメタシンの透過試験を行い、同一の皮膚試料に対してTOF-SIMSとLC/MS/MS測定を行いました。LC/MS/MSでは皮膚中濃度・皮膚透過量の定量をTOF-SIMSでは皮膚内の成分分布評価を行いました。 測...

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  • 【分析事例】ウォーターマーク原因調査 製品画像

    【分析事例】ウォーターマーク原因調査

    TOF-SIMSを用いた最表面の汚染源の特定

    TOF-SIMSでは分子に由来する二次イオンを検出し、その分布を可視化します。異常箇所から検出されたイオン種から由来成分を推定することで、異常がどのプロセスで発生したかを調査することができます。 ウェハや製品上に異常箇所(変色・付着)が見つかったとき、TOF-SIMS測定を行うことで、洗浄・乾燥に起因するウォーターマークか、母材の変質物か、別工程での付着物かを切り分けることができ、不良原因追求に...

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  • 【分析事例】銅(Cu)の酸化膜厚評価 保管環境による違い 製品画像

    【分析事例】銅(Cu)の酸化膜厚評価 保管環境による違い

    TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能

    配線材料として用いられる銅(Cu)は空気中で酸化膜を生じますが、保管環境の違いによる膜厚の差を評価した事例をご紹介します。アルミホイルで包んだ銅(Cu)と、ビニール袋に入れた銅(Cu)をそれぞれ40日間保管し、TOF-SIMSにて酸化膜厚の測定を行いました。また、約20日間にわたる継続した調査により、再現性が得られていることを確認しました。 TOF-SIMSは酸化物や金属など無機物の深さ方向分析...

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  • 【分析事例】グラフェンの官能基の評価 製品画像

    【分析事例】グラフェンの官能基の評価

    熱分解GC/MS法によりグラフェンの官能基の評価が可能

    グラファイトの単層品であるグラフェンは、強靭性、高導電性、高熱安定性などの優れた特性から、電池、透明電極、センサー等、幅広い分野への応用が期待されています。また製法によって表面に存在する官能基の種類や量が異なると言われており、その構造を明らかにすることは性能向上を図る上で重要なポイントとなります。 本事例では熱分解GC/MS法により、2種のグラフェンの官能基を比較した事例を紹介します。...詳し...

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  • 【分析事例】XRFによるウエハ上Au薄膜の付着量評価 製品画像

    【分析事例】XRFによるウエハ上Au薄膜の付着量評価

    薄膜成分の付着量を試料間で比較

    蛍光X線分析(XRF)では、元素分布の簡便な評価が可能です。 本事例では、蒸着装置を用いて任意量のAuを成膜した4inchのSiウエハA・Bを試料として、Auの分布および総付着量の比較を行いました。 面分析の結果より、Auの分布状態が確認できました(図1~4)。また、各画素から得られたXRFスペクトルのAu強度より付着量を比較し、ウエハBはAより多いことを確認しました(図5)。...詳しいデータは...

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  • 【分析事例】におい成分の一斉分析 製品画像

    【分析事例】におい成分の一斉分析

    ガスクロマトグラフィー質量分析器を用いたにおい成分の同定

    においは、人に快感を与える「匂い」や不快感を与える「臭い」など、様々な表現で日常的に使われています。においは、1種類のにおい成分として存在することは少なく、種々のにおい成分が混ざり合った状態で存在します。これら複合的なにおいを可視化するには、ガスクロマトグラフィー質量分析器(GC/MS)を用いた機器分析が有効です。本資料では、におい成分分析の流れと、悪臭を一斉に分析した事例をご紹介します。...詳...

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  • 【分析事例】TOF-SIMSによる微小領域の定性・イメージ分析 製品画像

    【分析事例】TOF-SIMSによる微小領域の定性・イメージ分析

    サブμmオーダーの異物、微小領域の定性・イメージ分析が可能

    TOF-SIMSは、着目箇所を局所的に分析して得られる質量スペクトルにより元素分析と有機物・無機物の分子情報の解析が同時に可能なことから、異物や微小領域の評価に有効です。 本資料は、サブμmオーダーの微小領域の分析例をまとめます。 層構造の試料上にFIBでスパッタ加工を行ったサンプルを、TOF-SIMSで測定をしました。サブμmオーダーの微小領域を評価をすることが出来ています。...詳しいデー...

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  • 【分析事例】磁気ヘッドMTJ部の構造評価 製品画像

    【分析事例】磁気ヘッドMTJ部の構造評価

    Csコレクタ付TEMによる高分解能TEM観察

    TEMの球面収差を補正したCsコレクタ付TEM装置を用いることで、高分解能で素子の断面構造観察を行うことができます。 本事例では市販のハードディスクから磁気ヘッドを取り出し、MTJ:磁気トンネル接合(Magnetic tunneljunction)部の高分解能(HR)-TEM観察を行ったデータを紹介します。 このように金属の極薄膜の多層構造でも明瞭に構造を観察することが可能です。...詳しいデ...

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  • 【分析事例】錠剤タイプ頭痛薬の組成分布評価 製品画像

    【分析事例】錠剤タイプ頭痛薬の組成分布評価

    新品と過酷試験後の錠剤断面における成分を可視化

    市販されている錠剤タイプの頭痛薬に含まれる成分とその分布評価を目的として、錠剤の断面をTOFSIMSにより質量イメージング分析を行いました。制酸剤由来であるAl、Mgと有効成分のアセチルサリチル酸が、2つの領域に分かれていることがわかりました。また、過酷試験として錠剤を4週間に渡り温度50℃、湿度75%の環境に置くことで、成分が変化した様子を評価しました。製剤処方研究・安定性評価の可視化に有効です...

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  • 【分析事例】有機薄膜太陽電池の活性層の組成分布評価 製品画像

    【分析事例】有機薄膜太陽電池の活性層の組成分布評価

    雰囲気制御下での前処理および深さ方向分析が可能です

    p型・n型材料の活性層を使用するバルクへテロ接合型太陽電池では、膜内の材料の混合状態を適切に制御する必要があります。 成膜後アニール処理をすることで、開回路電圧の変化なくフィルファクターの向上に伴い光電変換効率の向上が見られた試料について、TOF-SIMS深さ方向分析を行いました。その結果、PEDOT:PSS層との界面において、アニール前ではPCBMが偏析していることがわかりました。...詳しい...

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  • 【分析事例】SiCパワーMOSFETの活性層評価 製品画像

    【分析事例】SiCパワーMOSFETの活性層評価

    活性層の形状とドーパントを評価

    市販のSiCパワーMOS FET素子領域で拡散層分布を評価した事例をご紹介します。 SiC MOSFET製造プロセスでは、イオン注入と活性化熱処理、エピタキシャル層形成などによってチャネル形成します。活性層形成プロセスにおいて、TEM観察からデバイス構造を把握し、SCM測定からp型/n型の断面の拡散層分布やエピタキシャル層、SIMS測定からドーパント元素(N,Al,P)の深さ濃度分布を評価しまし...

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  • 【分析事例】液体中微粒子の構造・分散具合評価 製品画像

    【分析事例】液体中微粒子の構造・分散具合評価

    クライオSEMを用いた液体状試料の断面構造観察

    液体に分散させて用いる微粒子の粒径・構造を評価する際、従来は液体を乾燥させて粉体として微粒子を取り出し、電子顕微鏡を用いて測定しておりました。しかしながら、実際に用いる液体中で微粒子がどのように分散しているのかを調べるには不向きな測定法でした。 そこで、液体試料内で微粒子がどのように分散しているかを直接評価するため、クライオ加工+SEM観察を行って評価した事例をご紹介します。...詳しいデータは...

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  • 【分析事例】TDSによる脱離成分の推定 製品画像

    【分析事例】TDSによる脱離成分の推定

    複数質量の脱ガスパターンを比較します

    TDSの分析結果では、一つの質量電荷比(m/z)に対して複数の成分が検出されることがあります。このような場合でも、複数の質量について測定を行い脱ガスパターンを比較することで、昇温加熱により脱離した成分を推定することが可能です。 Si基板上W膜のTDS分析結果を例に、水とアンモニア(m/z=17)、有機物とアルゴン(m/z=40)の成分推定方法について説明します。...詳しいデータはカタログをご覧...

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