無菌室向け 二酸化塩素ガス除染装置『Weraser ZERO』

PR高精度計測器を搭載し、低濃度0.05ppm～高濃度1200ppm まで…

当社トラステック愛知が得意とするのは二酸化塩素の高精度の濃度計測と制御管理。 その技術を用いて開発したのが、二酸化塩素ガス除染装置『Weraser ZERO』です。 除染効果の高い二酸化塩素ガスを用いた除染装置で、 精度に優れたガスの濃度測定と、ガスの制御機能を有しています。 搭載された高精度計測器により、低濃度0.05～高濃度1200ppm（校正値1000ppm　検知管使用　当社...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トラステック愛知 本社

マニュアル露光装置

顕微鏡オート移動など､生産性､使い勝手に優れたアライナ

主な特長 1.フォトマスクとウエハの平行出しは､ウエハテーブルを空気の層で浮遊させ､アライメント機構部に内蔵されたエアバネでフォトマスクに正確にコンタクトする方式を採用しています｡ 2.アライメント顕微鏡は､アライメントマークが探しやすいように自在移動が可能です(...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社