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腐食性ガス・放出ガスの発生を抑える電解研磨
はアルミ及びステンレスチャンバー(オーステナイト系・マルテンサイト系)に対応できる電解研磨です。半導体製造装置部品等に使用でき、真空装置の真空時に発生する放出ガスを抑える効果があります。電解研磨では腐食性の「硫黄ガス」が発生しますが、オジープ処理は発生しません。 オジープ処理はアルミニウムに行う「オジープ・Al」とステンレスに行う「オジープ・SUS」があります。 キーワード:電解研磨・硫黄・サ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社オジックテクノロジーズ
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