エレクトロニクス･半導体業界向け硬さ･弾性率･粘弾性評価

セミコンダクタ・スマートフォンなどの研究開発のためのナノインデンテーシ…

ス(特許取得済みの設計) リファレンスは着脱可能で、ボールやピンなど様々な形態が可能。リファレンス軸のピエゾアクチュエータと荷重センサーによって、サンプルへの荷重を微調整(サーボループ)。 -熱膨張のない設計 - ヘッドには非膨張ガラスセラミックス材を使用し、電子回路システムの熱ドリフトは1 ppm/°C以下。 - 大理石台（プラットフォーム）、及び特許取得済みのアクティブトップリファレン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アントンパール・ジャパン

リチウムイオン電池材料の表面機械特性試験について

ナノインデンテーションテスタ及びスクラッチ試験機による物性評価

リファレンスは着脱可能で、ボールやピンなど様々な形態が可能。 リファレンス軸のピエゾアクチュエータと荷重センサーによって、サンプルへの荷重を微調整(サーボループ)。 - ヘッドには非膨張ガラスセラミックス材を使用し、電子回路システムの熱ドリフトは1 ppm/°C以下。 -独立した押し込み深さセンサーと荷重センサー：超高分解能静電容量センサーにより、「真の押し込み深さ」と「荷重制御...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アントンパール・ジャパン