凍結乾燥機の試験乾燥

PRフリーズドライ装置導入を検討されているお客様へ試験乾燥実施中です！

弊社では、フリーズドライ装置導入を検討されているお客様を対象に試験乾燥を実施しております。 試験機を実際に見ながらご説明し、ご質問等にお答えします。 今までにも製薬会社様、食品会社様、化粧品会社様など、多くのお客様が試験乾燥を実施してきました。 ご興味のある方はお気軽にお問い合わせください。...共和真空技術株式会社の工場は埼玉県熊谷市にございます。 様々な試験機を設置している東工...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

【乾燥テスト対応！】オーダーメイドの乾燥機

PRしらす加工場の６０%に納品実績あり！オーダーメイド乾燥機

当社は、しらす工場の約6割に納品実績があり、多種多様な乾燥機を製造しております。 製茶加工における熱風乾燥の機器・装置をはじめとして、水産加工・食品加工のプラントなど、幅広い業種で熱風乾燥機の技術を生かした製品を創り出しています。 例えば、食品加工の分野は、お客様の製造する食品ジャンルは様々。インスタント食品の野菜や薬味、穀物などの乾燥機や、練り製品の加熱冷却装置など、いずれも製品はオーダ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社河村バーナー製作所

半導体プラズマ解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする 粒…

『Particle-PLUS』はICPやCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする ・ICP シミュレーションのための誘導加熱の計算機能 ・CCPや外部回路...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【解析事例】マグネトロンスパッタリングシミュレーション

粒子法プラズマ解析ソフトウェアParticle-PLUSの活用により、…

、容量結合プラズマ ( CCP )、誘電体バリア放電 ( DBD ) などに活用可能です。 各種モジュール（下段の製品説明参照）のうち、スパッタ粒子モジュールを活用することで、マグネトロンスパッタ装置などにおいて、ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を求めることができ、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価可能です。解析手順としては、プラズマモジュールで求まっ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】フィルタードアーク蒸着法によるDLC成膜の解析

お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能！複雑なモデルでも効率良く解析

『Particle-PLUS』は、プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・ 製造に適したシミュレーションソフトウェアです。 軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを 行う必要なく、 高速に結果を得ること...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

MotionBoard事例：可視化による集中管理で生産性向上

MotionBoardは工場において不可欠のツール

また、生産実績の集計はExcelを用いて日次でしか行われておらず、翌日になってはじめて生産数が計画数に足りないことが判明するケースもありました。 ■課題 ・ホストコンピュータに集約された製造装置の稼働情報をリアルタイムに可視化したい ・生産実績値の集計はExcel を用いて日次でしか行えていなかった ■効果 ・生産計画/ 実績をガントチャートで表示するダッシュボードを半日で開発 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

医療機器管理台帳システム『FLiPS』

薬事法及び医療機器安全管理指針に則した保守点検計画の策定及び実績管理を…

1)医療機器管理台帳 FLiPSでは機器管理台帳の項目を使用者が自由に設定できます。 例えば保守点検計画表に必要となる「設置場所」「装置名」「機器区分」「機種名」「形式」「製造年月日」「購入年月日」「使用期限」「保守点検予定」「保守実施者」「責任者」「メーカー」「保守費用」「修理時間」といった項目の他に装置受入試験の際に必要な項目も...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

実験データのペーパーレス化ツールBIOVIA Notebook

【簡単導入！】シンプルな画面構成で直観的に操作ができる実験データのペー…

方におすすめ】 ■現在手書き書類や個人のEXCELなどで管理をされている方 (社内DX化が進む中、研究,開発などの実験部門でのでの取り組みが遅れている) ■DX推進を検討している方 ◆半導体装置開発,産業機器開発などさまなど様々な業界の開発者に適応 ◆実は重複実験が多い、失敗した実験の記録がわからない、データは個人管理なので共有されていない (記録方法の不統一による情報散逸や障害,破損...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

表面処理の特性予測ソリューション

複数の解析ソフトウェアを駆使した表面処理の特性予測ソリューションを提案…

CAEソフトウェア・分子モデリング・分子シミュレーションソフトウェアを組み合わせることで、より広い解析対象をカバー！ たとえば、調べたい材料表面の作成/処理過程＆材料特性など プラズマプロセス装置の解析と表面状態の特性予測をまとめて提供します！ 【解析対象となる物理現象】 ・結合と活性化 ・成膜 ・スパッタや浸食 ・脱離や洗浄　　　など 【評価可能な表面特性例】 ・原料ガス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

故障情報を元にしたライフサイクルコスト算出及び機会損失の低減

故障情報から施設、設備、機器、装置固有の故障特性を分析し、データベース…

データベース化 　・ワイブル分析 　・ベイズ統計 　・MCMC法 　・分析結果の数値モデル化/データベース化 ■運用中の設備における信頼性評価 　・信頼性ブロック図(RBD)による設備、装置全体の故障率算出 　・定性的リスク評価及びアクション、セーフガードの洗い出し 　・リスク評価及びシステムの脆弱性、安全性評価 ■使用環境に応じた検討(※2) 　・最適なメンテナンスコスト、周...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【資料】ストリーマー放電計算の最適化

「VizGlow」を使用し解説！説明変数と目的変数や最適化がどのように…

ついて詳しく解説しています。 「ストリーマー放電計算」をはじめ、「説明変数と目的変数」、 「最適化がどのように進むか」な掲載。 最適化とシミュレーションを組み合わせる例として、プラズマ装置の 動作条件の探索を行うため、プラズマ装置のシミュレーションには、 当社取り扱いソフトの「VizGlow」を用いています。 【掲載内容（抜粋）】 ■ストリーマー放電計算 ■説明変数と目...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

自動車用スパークプラグシミュレーション『VizSpark』

従来では困難だった自動車用スパークプラグのアークプラズマ解析も可能なシ…

スパークプラグ及び遮断器での解析に最も多くの実績があり、学会においても多くの事例が発表されております。 国内でも完成車メーカー、内燃機関関連メーカーを中心に多くの実績があり、以下のような装置の解析に対応しています。 ・遮断機 ・大気圧放電 ・点火プラグ(スパークプラグ) ・プラズマトーチ（プラズマジェット） ・溶接 ・溶射 ・高輝度ランプ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

予測モデル構築ソフトウェア『Neural Designer』

AI（深層学習）による予測モデル、サロゲートモデルを簡単に構築可能。日…

ートモデルとも呼ばれます） 各種測定データ、各種シミュレーション結果を使用して、 ニューラルネットワークによる予測モデルを構築。 シミュレーションの大幅な時間短縮が可能です。 また、各種装置や機械の運転条件や設定値の最適化にも有効です。 【特長】 ■予測モデルの構築だけでなく、関係式の出力やサロゲートモデルの作成も可能 ■データ解析で行う欠損値の確認など基礎的な統計処理もワン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

誰でも今すぐ簡単に使えるAI『Neural Designer』

データはあるけど知識はない、知識はないけど使ってみたい、そんな企業様に…

言えません。 Neural Designerを使えば、マウスのみのGUI操作で簡単に、AIによる予測モデルを構築することができます。 この予測モデルを利用して、シミュレーションの時間短縮、各種装置の運転条件や設定値の最適化などが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

製品改善、運転条件の最適化、予兆保全システム

シミュレーション、統計解析、機械学習技術を活用し、設備のフィールドデー…

全に関する知見を組み合わせ、データ収集・可視化から分析、製品の改善や運転条件の最適化、予兆保全に関わる仕組みの構築を支援致しております。 主な対象設備としては ・各種プラント ・半導体製造装置 ・空調システム 等が挙げられます。 本検討にはお客様のご要望、目的に応じて以下のようなツール、システムを使い分け仕組み構築をサポートします。 ■1次元シミュレーションソフトウェア(...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

高速プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS/DL』

機械学習データをCAE解析モデルから生成！プラズマ解析での計算結果を手…

【こんな方にオススメ】 ■半導体関連装置メーカー ■プラズマ解析に興味がある方 ■CAE代理(サロゲート)モデルソフトに興味がある方 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

「CAE×AI」で業務効率化しませんか？

機械学習やAIを活用した業務効率化のお手伝いが可能！当社取扱いソフトや…

【当社解析事例（一部）】 ■深層学習関連 ・風力発電量のモデリング ・ヨットの残留抵抗予測 ■プラズマ関連 ・DCマグネトロンプラズマ装置などの初期検討に活用 ■マテリアルズ・インフォマティクス関連 ・有機分子の物性予測へ適用 ・半導体材料の組成抽出へ適用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【実験できない範囲も解析が可能】表面処理の特性予測ソリューション

専門知識を持った技術者がサポート！各種解析ソフトを組み合わせる事で、表…

AEソフトウェア」「分子モデリング」 「分子シミュレーションソフトウェア」を組み合わせることで、 より広い解析対象をカバー。 調べたい材料表面の作成/処理過程＆材料特性などプラズマプロセス装置の 解析と表面状態の特性予測をまとめて提供します。 【特長】 ■各種解析ソフトを組み合わせる事で、表面改質への様々な取組が可能 ■実験できない範囲も解析が可能 ■プラズマ解析が可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

『データマイニングによる異常検知と故障予知ソリューション』

設備や装置の異常検知や故障予知、品質向上に！手順をわかりやすくご紹介！

『データマイニングによる異常検知と故障予知ソリューション』は、 電子計算機用ソフトウェアの開発販売、ソフトウェアを使用した解析、設計 及びコンサルテーション等を行っている株式会社ウェーブフロントの データマイニングサービス及びシステムの構築サービスです。 当資料では、一般的なサービス実施のイメージと、当社が頻繁にご相談 頂くような内容に置き換えた具体的なイメージをご紹介しています。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

MotionBoard事例：紙に記録していた状況をデジタル化

人手に依存していた工程管理をリアルタイムに可視化

◇ 着荷から荷捌き、検査、入庫までの一連の作業を可視化 ◇ 異常が発生した装置の場所をマップに表示 ◇ 多数のダッシュボードを統括する全社ポータルを用意 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【資料】ベイズ最適化

全体の形が未知の関数や微分ができない関数の最大値・最小値を探索的に求め…

です。 当資料ではこの他に「FA分野での活用事例」や「システム連携・幅広い提案」 「Pipeline Pilotの製品概要」などを掲載しております。 【ベイズ最適化 用途例】 ■各種装置の運転条件の最適化 ■各種材料の好適組成の探索 ■機械学習のハイパーパラメータ探索に利用 ■効率的に精度の良い学習モデルの発見 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

CVD装置用　解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子…

『Particle-PLUS』はCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適した シミュレーションソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析 ・2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

事例:Particle-PLUS:GEC-CCP装置プラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「GEC-CCP装置のプラズマ解…

高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『Particle-PLUS』円筒型マグネトロン装置

長い円筒の内側に強い膜を成膜する方法のひとつである、円筒標的を用いたマ…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーション...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」CCP装置の3次元解析

Particle-PLUS解析事例紹介 "容量結合プラズマ（CC…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーション...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

マグネトロンスパッタ用解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はマグネトロンスパッタ装置を得意とする …

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です ・流体モデルで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

プラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です ・流体モデルで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

3Dプラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です ・流体モデルで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS 2周波CCP

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 Particle…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーション...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』 はプラズマ反応炉や化学蒸着(CVD)な…

Particle-PLUSは、粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです。プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに有効なソフトです。二周波CCPや外部回路モデルなどの高度な物理モデルに対する解析も可能です。充実したサポートによりシミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS AC マグネトロンスパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 「AC マグネトロン…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーション...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」円筒型マグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「円筒型マグネトロン装置のプラズ…

側に強い膜を成膜する方法のひとつである円筒標的を用いたマグネトロンスパッタの解析事例です Particle-PLUSで利用可能な 1)軸対称モデル 2)鏡面対称境界条件を組み合わせることで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく高速に結果を得ることができます ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」2周波CCPのプラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「2周波CCPのプラズマ解析」シ…

CCP（容量結合プラズマ）装置のプラズマ解析に関する事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 電極が複数ある場合や重畳周波数を印加する場合に対しても 高速にシミュレーションを...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」対抗ターゲット式スパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介 "対面ターゲットを用いた…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーション...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS 対向ターゲット式スパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 「対向ターゲット式ス…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーション...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

CCP シミュレーション解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子…

『Particle-PLUS』はCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適した シミュレーションソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とする ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS 外部回路モデルを用いたCCP

Particle-PLUS解析事例紹介 外部回路としてπ 型マッ…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーション...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS DCマグネトロンスパッタ3D

「Particle-PLUS」は 真空チャンバ内のプラズマ解析を得意と…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーション...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」イオンビームの質量分析

Particle-PLUS解析事例紹介 "イオンビームの質量分析…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーション...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS ロールツーロールスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介 "回転ターゲットのマグネ…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーション...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS　回転ターゲットのマグネトロン

カットセルメッシュを用いた回転ターゲットのマグネトロンスパッタシミュレ…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーション...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

ICPにも対応 解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする 粒…

『Particle-PLUS』はICPやCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする ・ICP シミュレーションのための誘導加熱の計算機能 ・CCPや外部回路...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」RFマグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「RFマグネトロンスパッタ解析」…

高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS:CCPによるクリーニング処理

Particle-PLUS解析事例紹介「CCPによるクリーニング処理」…

高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS:誘電体標的のRFマグネトロン

Particle-PLUS解析事例紹介「誘電体標的のRFマグネトロンス…

高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『Particle-PLUS』DCマグネトロンスパッタ

プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、DCマグネトロンスパッ…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速に成膜速度などのシミュレ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『Particle-PLUS』CCPでのクリーニング処理

代表的なドライエッチング手法のひとつである CCP（容量結合プラズマ…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です ・流体モデルで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社