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主観的リスクではなく客観的データに基づいた議論を進める目的で、粒子状物…
▪ VDI（目視検査） すべてのバッグチャンバーでvisible particles を含めた目に見える欠陥を検査 ▪ VPT（粒子抽出・測定） 液体抽出と顕微鏡計数を用いて行う、代表的製品上のvisible particles のモニタリング ▪ ロット単位での VPT (オプションサービス) 液体抽出と顕微鏡計数を用いて行う、実製造ロットから抽出された ...
メーカー・取り扱い企業： ザルトリウス・ステディム・ジャパン
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