極微小リーク分析
極微小リーク量の測定が求められる自動車用のMEMSセンサーデバイスをご…
ス(封止デバイス)への気体混入(リーク)は僅かでも 劣化し信頼性を著しく損なう可能性があります。 信頼性を担保するためには、破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)の 極微小リーク計測が求められます。 【多く使用される自動車エレクトロニクス(抜粋)】 ■空気流量計 ■アクセルセンサ ■圧力センサ ■ステアリングセンサ ■ミリ波レーダー ※詳しくはPDF資料を...
メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社
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