半導体用超高純度エアー駆動式ダイアフラムポンプ

クラス100のクリーンルーム内で組立を実施！ 特別に設計された半導体用…

半導体用超高純度ダイアフラムポンプ「SEMIシリーズ」は、半導体製造用に特別に設計製作されています。 製品の組立はクラス100のクリーンルーム内で行っており、全ての部品を純水で洗浄し、純水にてテストを行い、最後にプラスチックフォイルに密封され出荷されます。 全ての接液部品をPTFE/TFMで製作した「SEMI T」と「SEMI H」。 接液部品がUPPE（超純度ポリエチレン）製の「SEMI ...

メーカー・取り扱い企業： サニー・トレーディング株式会社 営業本部