インラインケミカルフィルター「リソガードPOUフィルター」

高純度の空気環境が必要とされる工程での圧縮空気のろ過に好適です！

「リソガードPOU（Point-Of-Use/ 局所）フィルター」 は、塩基性・酸性および有機ガスといった汚染物質除去用の配管接続タイプのケミカルフィルターです。 物理および化学吸着により通過気体中の酸性・塩基性・有機ガスを捕集します。 半導体製造・各種開発実験/ 評価試験、レ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ドナルドソン株式会社

ケミカル汚染物除去用フィルタ「リソガードLPSフィルタ」

さまざまな汚染物質からレンズを保護し、更に長寿命化したケミカルフィルタ

保護し、寿命を最大限に保ちます。半導体製造装置はもちろん、超洗浄環境が要求される設備・エリアへ供給する空気中の汚染物質の除去に最適です。 【特長】 ■さまざまな汚染物質の除去に使用可能 ・酸性ガス（SO2、HCl、HBr） ・塩基性ガス（NH3、NMP、アミン） ・凝縮性有機ガス（HMDSO、TMS） ■リソガードBSMmaxフィルタと比較して、同等サイズでありながら吸着容量アップ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ドナルドソン株式会社

ケミカル汚染物除去フィルタ「リソガードBSMmaxフィルタ」

さまざまな汚染物質からウエハーやレンズを保護し、寿命を最大限にするフィ…

「リソガードBSＭmax フィルタ」は、空気中の塩基性・酸性および有機ガスといった汚染物質に対して高い除去性能を発揮するキャビネット収納タイプのケミカルフィルタです。 さまざまな汚染物質からウエハーやレンズが汚染されないよう保護し、寿命を最大限に保ちま...

メーカー・取り扱い企業： 日本ドナルドソン株式会社