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3インチウェハ対応！コンパクトな設計となっており省スペース化を実現しま…
様】 ■真空排気：ターボポンプ ■ヒーター：SiC MAX1200℃ ■水冷：外周蛇管 上フランジジャケット ■外寸：φ360 x 500H ■内面処理：電解研磨 ■ガスケット：金メッキ銅ガスケット ■チャンバー材質：SUS316 ■ガス吐出基板長間可変：0mm ～ 50mm ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社和泉テック
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