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研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』
昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥…
【仕様】 ■対応ワークサイズは、2~8インチ(※角基板、12インチはお問合せください) ■ワークは作業者による手載せ ■薬液昇温機能有り ■防爆ガラス等安全仕様有り ■ノズル各種仕様変更可能(※詳しくはお問合せください) ...
メーカー・取り扱い企業: 日精株式会社 本社
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量産向け枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』
昇温した有機薬液による化学反応と、高圧ジェットの 物理的アシスト利用…
【仕様】 ■対応ワークサイズは、2~8インチ(※角基板、12インチはお問合せください) ■スカラロボットによるワークの自動搬送 ■薬液昇温機能有り ■自動消火システム、防爆ガラス等安全仕様有り ■チャンバー内部の自動クリーニング機能 ■ノズル各種仕様変更可能(※詳しくはお問合せください) ■裏面回り込み防止機能 ■最大4チャンバーまで増設可能 ■上位通信対応...
メーカー・取り扱い企業: 日精株式会社 本社
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試作開発 枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』
昇温した有機薬液による化学反応と、高圧ジェットの 物理的アシスト利用…
【仕様】 ■対応ワークサイズは、2~8インチ(※角基板、12インチはお問合せください) ■スカラロボットによるワークの自動搬送 ■薬液昇温機能有り ■自動消火システム、防爆ガラス等安全仕様有り ■チャンバー内部の自動クリーニング機能 ■ノズル各種仕様変更可能(※詳しくはお問合せください) ■裏面回り込み防止機能 ...
メーカー・取り扱い企業: 日精株式会社 本社
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