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プラズマクリーナー V1000/1000X/1000XS
13.56MHzの高周波電力を印加した プラズマクリーナー 【特徴】 ○RIE・DPの両モードを搭載 ○電極2段式方式を採用し、処理効率がアップ(V1000X) ○プラズマ効率向上のため、特殊電極構造に変更可能 ...
メーカー・取り扱い企業: ヤマト科学株式会社
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