『コリオリ式 TiCl4用液体MFC』

精密に制御かつ高再現が実現できる！TiCl4の流量をコントロールできる…

　充填装置] ■コリオリの精度を利用し、ポンプの回転数を制御、質量流量にて投入できる装置 ■ポンプの弱点である、容積式の誤差をコリオリ式にて質量で補正 ■精密な充填（連続充填）が可能に ■電子天秤などで質量の確認が不要 [その他装置] ■コリオリ式マスフローメータとコントロールバルブ、 　コリオリ式マスフローメータとシャットオフバルブを 　組み合わせた充填システムもご用意 ※...

メーカー・取り扱い企業： ブロンコスト・ジャパン株式会社