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    BS/JEBG/EBG series 電子銃

    光学薄膜や電極膜など各種薄膜形成に利用される電子ビーム蒸着用電子銃(偏…

    日本電子株式会社 BS/JEBG/EBG series 電子銃は、光学薄膜や電極膜など各種薄膜形成に利用される電子ビーム蒸着用電子銃(偏向型)です。 〇特長 ・蒸発材料に電子ビームを直接照射し加熱するため熱効率が良く、高融点金属を始め、酸化物や化合物、昇華性物質など様々な材料を蒸発させる事ができます。 ・水冷銅るつぼ内(※)の蒸発材料を直接加熱するため、抵抗加熱式や誘導加熱式のようにボートやるつ...

    メーカー・取り扱い企業: アズサイエンス株式会社 松本本社

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