カスタマイズ静電チャック

把持対象物や用途、環境に応じて好適な静電チャックの提案が可能です。

【カスタマイズ要素例(抜粋)】 ■設計/製造 <静電チャック> ・材質：材質（セラミック/コーティング/樹脂）他 ・内部電極パターン：単極、双極 他 ・表面状態：表面形状（エンボス/フラット）、面粗さ 他 <ステージ基材> ・材質：樹脂、セラミック、アルミニウム合金、ステンレス合金 他 ・接合方法：メタライズ、真...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブテクノロジー

【デモ機貸出可】ポリイミド静電チャック

クリーン度の維持に貢献！半導体製造装置やディスプレイ製造装置等に採用さ…

【カスタマイズ仕様例(オプション)】 ■電極最適化 ■高温対応 ■表面処理 ■メンテナンス/修理 ■大型化　など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブテクノロジー