ウエハ・チップ外観検査装置

表裏同時検査可能！1台でマクロ検査・ミクロ検査どちらもできるウエハ・チ…

程、ダイシング工程で発生する外観欠陥を、高速かつ高精度で検査が可能で、多様なパターンのチップの検査が可能です。 【特長】 ■品種毎に可変の画像分解能（1.5～5µ）で検査が可能 ■組込用顕微鏡によりサブミクロンの分解能での検査も可能（オプション） ■画像特徴量の複合的な条件にて不良の分類分けが可能 ■一回で複数のレシピ（異なる画像分解能・照明・判定プログラム）を使用した検査が可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒューブレイン