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把持対象物や用途、環境に応じて好適な静電チャックの提案が可能です。
た高性能、高機能な製品を提供します。 【オプション対応例】 ■ヒーター内蔵 ・ステージ基材製造技術と薄型ヒーター製造技術を静電チャックと 融合させることで、高精度の温度制御が可能 ■高温対応 ・静電チャック材質にALNセラミックを使用することで、~500℃の 高温環境での使用が可能 ■異常放電対策 ・当社ノウハウにより、ガス穴周りに発生し易い異常放電対策が可能 ※詳...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クリエイティブテクノロジー
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クリーン度の維持に貢献!半導体製造装置やディスプレイ製造装置等に採用さ…
【カスタマイズ仕様例(オプション)】 ■電極最適化 ■高温対応 ■表面処理 ■メンテナンス/修理 ■大型化 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クリエイティブテクノロジー
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