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生産設備・研究開発向け!薄膜電子部品工程における一連のプロセスを提供!
大村技研の『フォトリソグラフィープロセス装置』は、薄膜電子部品工程 における一連のプロセスを高精度高信頼性で提供するシステムです。 洗浄・コーター・現像・剥離・エッチングなどの生産設備および 研究開発向けの設備を提供します。 「全自動スピンエッチング装置」は、ウエハを1枚ずつ取り...
メーカー・取り扱い企業: 大村技研株式会社
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