*ドライポンプAシリーズ

業界トップクラスの基本性能

間に300回のサイクル運転可能 •高効率モーター採用による低消費電力化を実現 •コンパクト設計　設置面積 0.17m2　縦置き・横置き選択可能 •2段積み可能（吸気口向き水平のみ） A103P •ミディアムプロセス向け（エッチャー、イオン注入、PVDなど） •省エネ、省スペース A4シリーズ •マルチルーツ構造、高効率モーターよる低消費電力化を実現 •ヒーター温度制御に...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社