微小流量コントローラ『Z3000型』

流量計に熱式流量計を採用！1～25ｍL/minの微小領域のコントロール…

オペレーションソフトにより 動作状態とアラーム状態の確認ができます。 【特長】 ■1～25mL/minの微小領域のコントロールが可能 ■バルブユニットとコントローラユニットを一体型 ...使用圧力範囲：0～300kPa ■耐圧：500kPa ■流体温度：5～40℃ ■環境温度：15～35℃ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： サーパス工業株式会社 本社