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スラリーなどの研磨性流体に最適なフッ素樹脂製ダイアフラムバルブ
半導体製造装置及び化学工場の薬液配管向けのフッ素樹脂製バルブです。CMPスラリー等粘性薬液に最適な抵抗の少ない流路構造のダイアフラムバルブ(ダイヤフラムバルブ)です。抵抗の少ない構造である為、サイズによっては他社比較2倍以上の流量能力がございます。 また,液溜まりの少ないボディ形状によりコンタミネーションのリスクが抑えられております。...・メンテナンスフリーのPVDF製ピストンアクチュエーター...
メーカー・取り扱い企業: ゲミュージャパン株式会社
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プラスチック製マルチポートブロックバルブ(ダイアフラムバルブ)
装置の小型・軽量化のための新提案
GEMÜ製(GEMU)に合わせて1点ずつ設計・製作いたします。全9種の豊富なボディ材質と,2000種を超える形状から最適な仕様をお選びいただけます。(ダイヤフラムバルブ) ★マルチポートブロックバルブのメリット 1. デッドレグが0のため,液溜まりの心配がありません 2. バルブの配管スペースが50%以上小さくなります 3. 配管の手間と,部材コストを削減できます 4.接続箇所や接着...
メーカー・取り扱い企業: ゲミュージャパン株式会社
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