ケミカル汚染物除去用フィルタ「リソガードLPSフィルタ」

さまざまな汚染物質からレンズを保護し、更に長寿命化したケミカルフィルタ

「リソガードLPSフィルタ」は、現在もクラス最高レベルにある「リソガードBSMmaxフィルタ」の除去性能を強化し、更なる長寿命化を実現したキャビネット収納タイプのケミカルフィルタです。 さまざまな汚染物質からウエハーやレンズが汚染されないよう保護し、寿命を最大限に保ちます。半導体製造装置はもちろん、超洗浄環境が要求される設備・エリアへ供給する空気中の汚染物質の除去に最適です。 【特長】...

メーカー・取り扱い企業： 日本ドナルドソン株式会社

滅菌グレードエアフィルター 「(P)-SRF」

製造工程用の圧縮空気・ガスのマイクロフィルタ（ホウケイ酸メディア デプ…

・強固で高い機械的安定性 ・HIMAに準拠したバクテリア捕捉能力 ・２００℃までの耐熱性 ・食品用途への適用認可 　（CFR Title21＆1935/2004/ECによる） 圧縮空気、プロセスガスの除菌フィルタとして開発され、食品（醸造・乳業・飲料）や製薬業界の高い要求レベルを満たし、過酷な使用条件においても確実に性能を発揮。ホウケイ酸ガラス製で結合材を使用しないメディアにより、高...

メーカー・取り扱い企業： 日本ドナルドソン株式会社

ケミカル汚染物除去フィルタ「リソガードBSMmaxフィルタ」

さまざまな汚染物質からウエハーやレンズを保護し、寿命を最大限にするフィ…

「リソガードBSＭmax フィルタ」は、空気中の塩基性・酸性および有機ガスといった汚染物質に対して高い除去性能を発揮するキャビネット収納タイプのケミカルフィルタです。 さまざまな汚染物質からウエハーやレンズが汚染されないよう保護し、寿命を最大限に保ちます。半導体製造装置はもちろん、超清浄環境が要求される設備・エリアへ供給する空気中の汚染物質の除去に最適です。 【特長】 ■さまざまな汚...

メーカー・取り扱い企業： 日本ドナルドソン株式会社