サブミクロンフィードバックステージ FS-1020X/XY

【エンコーダ内蔵】高分解能かつストロークが長い位置決めステージ

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラF...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社