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薄い!厚さ25mmの高真空対応位置決めテーブル
当製品は、高真空(1×10-5pa程度)対応の位置決めテーブルです。 ストローク200mmまでは最薄25mmで、狭く限られた場所でも使用 できます。 また当社では、自社で放出ガス評価を行なっているため、高真空雰囲気中の 使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、的確な仕様の真空 アプリケーションを提供することができます。 【特長】 ■真空対応ステッピングモータを採用...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所
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コンパクト&高剛性!超小型ボディの位置決めテーブル
当製品は、高真空(1×10-5pa程度)対応の位置決めテーブルです。 手のひらに載るほどの超小型ボディでありながら、案内系にクロスローラ ガイド、伝達系に精密ボールねじ(予圧品)を採用し、高剛性を実現、安定 した動きを保証します。 またXY軸、XZ軸など多軸に組み合せ可能なブラケット等、オプションも ご用意しています。 【特長】 ■クリーン対応品も用意 ■コンパクト&高...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所
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高真空対応!互換性も高い位置決めテーブル
当製品は、真空対応の位置決めテーブルです。 当社では自社で放出ガス評価を行なっているため、お客様の要望に沿った 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。 また、VTシリーズは各メーカー市販のステージ(大気用)と同等サイズ バリエーションと互換性も高く、貴社既存の大気仕様装置を設計変更を することなく、低放出ガス仕様や真空対応化することも可能です。 【特長】...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所
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