ローコスト　マスフローコントローラ　SFC280ERC

真空製膜装置から研究実験装置まで幅広い用途に対応

ガス・真空・低温機器供給のR＆D、川口液化ケミカル社が取扱う ローコスト・マスフローコントローラのご紹介です...【特徴】 ■メーカー：日立金属株式会社 ■型番：SFC280ERC ■仕様：精度±2%　応答性3秒以内(F.S.±2%到達) ■ガス種：ご注文時にご指定 ■流量範囲：フルスケール　10SCCM〜5SLMでご注文時にご指定 ■本体材質：SUS316L、バイトン ■継手サイ...

メーカー・取り扱い企業： 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所

コンパクトディジタル　マスフローコントローラ

300mmウエハープロセスに対応

ワイドレンジでの高精度、高速応答を実現したマスフローコントローラ...【特徴】 ■メーカー：日立金属株式会社 ■仕様：精度±0.5%　応答性1.5秒以内(設定値の±2%,0.7〜1.2秒 typ) ■ガス種：ご注文時にご指定 ■流量範囲：フルスケール　10SCCM〜30SLMでご注文時にご指定 ■本体材質：SUS316L、内面特殊電解研磨仕様 ■継手サイズ：1/4UJRタイプ、各社IG...

メーカー・取り扱い企業： 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所