膜厚モニタークリスタル 【6MHz】

用途に合わせた多様なラインナップ！真空蒸着時の物理膜厚を検知するセンサ…

ピエゾパーツの『膜厚モニタークリスタル』は、真空成膜時に使用され 物理膜厚を検知するセンサーです。 専門メーカーによる発振のばらつきを抑えたセンサーを提供しており、 5MHzと6MHzの2タイプが用意されています。 特殊品として、結晶の軸方向を特定することで水晶の温度特性や副振動を 改善し精度を向上させることが出来る「両面オリフラ加工品」や、 鏡面研磨をすることによって発振強度...

メーカー・取り扱い企業： ピエゾパーツ株式会社

真空蒸着用、Rate/膜厚制御センサー

個体差を極力抑えた真空膜厚時の物理膜厚を検知するセンサー

ピエゾパーツの『膜厚モニタークリスタル』は、真空成膜時に使用され 物理膜厚を検知するセンサーです。 専門メーカーによる発振のばらつきを抑えたセンサーを提供しており、 5.0MHzと6.0MHzの2タイプが用意されています。 特殊品として、結晶の軸方向を特定することで水晶の温度特性や副振動を 改善し精度を向上させることが出来る「両面オリフラ加工品」や、 鏡面研磨をすることによって...

メーカー・取り扱い企業： ピエゾパーツ株式会社