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小型で持ち運びが簡便!当社独自のハイパー処理により、有機物、水分のアウ…
【仕様】 <AG-100-N2,Ar,He(3機種)> ■供給ガス:N2,Ar,He よりガス種を指定 ■供給圧力:0.1~0.6 MPa ■許容流量:1~3L/min ■除去不純物:H2O,O2,CO2,CH4,有機物全般 ■除去性能:1ppb以下(APIMSにて検査実施) ■寸法:W185×D155×H455 mm ■電源:AC100V 10A...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社日本エイピーアイ
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