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小型で持ち運びが簡便！当社独自のハイパー処理により、有機物、水分のアウ…
【仕様】 ＜AG-100-N2,Ar,He(3機種)＞ ■供給ガス：N2,Ar,He よりガス種を指定 ■供給圧力：0.1～0.6 MPa ■許容流量：1～3L/min ■除去不純物：H2O,O2,CO2,CH4,有機物全般 ■除去性能：1ppb以下(APIMSにて検査実施) ■寸法：W185×D155×H455 mm ■電源：AC100V 10A...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本エイピーアイ
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