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ナンバリングアップで量産フロー検討「集積型マイクロリアクター」
PR各種反応や混合を内部ナンバリングアップにより流量増大 閉塞回避構造…
集積型マイクロリアクターラインアップ ◇2x2タイプ AB各流路4流路 ~500ml/min ◇4x4タイプ AB各流路16流路 ~1.5L/min ◇8x8タイプ AB各流路64流路 ~3L/min 集積型マイクロリアクターの特徴 ◆コンパクトサイズ ◆分解洗浄可能 ◆最大数3000ml/minの処理能力 ◆液-液、気-液、気-気混合にも対応 ◆再結晶にも応用可能 ◆...
メーカー・取り扱い企業: マックエンジニアリング株式会社
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様々なプロセス用途にご利用頂けるバッチ式アッシング装置です!
『WPA800S』は、同軸バレル構造をチャンバーに持つウエハ50枚のバッチ式 プラズマアッシング装置です。 ウエハサイズ200mm(8インチ)に対応しており、シリコンウエハ上に 形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマ励起によって、 低ダメージアッシング(灰化除去)や表面改質等の多様なプロセス用途に 利用が可能です。 【特長】 ■同軸バレル構造 ■50枚バッチ式 ■ウ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社リバティー
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