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アスペクト比100も可能。高精度・高アスペクト比のマイクロメタルパーツ
■ 製造工程: LIGAプロセス 高アスペクト比を持つ微細構造を実現する複合プロセスです。 X線リソグラフィと電鋳により,金属やポリマーの微細構造体を高精度,高アスペクト比にて実現しています。 ■ マイクロギア例1 ハーモニックドライブ歯車(高精度マイクロマニピュレータ向け,高速度伝達比,バックラッシュ無し) 構造高さ1,100 µm,構造幅: 30 µm ■ マイクロギア例2 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ASICON
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