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フレキシブル局所排気システム「SDシステム」【作業環境を実現!】
PR作業場等で発生する臭い、ガス、微塵、煙をシャットアウトしクリーンな作業…
SDシステムは、薬品等の取り扱い時に発生するガス、煙、有害な煙霧、 悪臭、微塵などを作業者が吸引しないように、作業所内に拡散しないように する為に発生局所から吸引するダクトです。用途、取付場所、作業性に 合わせて自由に組み合わせて使用可能です。 ダクトの径はφ50mm、φ75mm、φ100mmが有り、吸引風量により選定 できます。ダクトがアルミ製の標準タイプ、PP製の耐薬品性タイプ、...
メーカー・取り扱い企業: 日本ブロアー株式会社
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RIBER社EZ-CURVE 真空装置In-situ反りモニター
各種真空装置内でのウエハ応力、反り、曲率、異方性等をリアルタイム、高精…
ェハに対応可能 7) 高い安定性とアライメントフリー測定を実現 8) 白色光源の採用、反射率の変化に影響無し、露光時間の調整が不要。 9) ウェーハの平坦性に影響せず、パターニングされたウェーハでも測定可能 10) 他のソフトウェアとデータを共有可能。 仕様 1) 曲率測定レンジ 0.0008~200,000 Km-1 2) 半径レンジ(Max-Min)1,250,000~0.005m
メーカー・取り扱い企業: 伯東株式会社 本社
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