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卓上型サーマル式 / プラズマ支援 原子層堆積(ALD)装置
Arradiance社製卓上型ALD装置 卓上型ながらプラズマユニット…
テーブルトップのコンパクトサイズALD装置ながら原子レベルレイヤーの成膜が可能。プラズマユニットを装備したPEALD装置もございます。 直径200mm、高さ25mmまでの構造物、カーボンナノチューブ(CNT)やグラフェンにも成膜...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイチ・ティー・エル HTL(エイチティーエル)
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有機金属原料および酸化剤を交互に反応室に供給し、表面反応のみで成膜しま…
『AD-230LP』は、原子レベルの膜厚制御が可能なALD装置です。 有機金属原料および酸化剤を交互に反応室に供給し、表面反応のみで成膜。 ロードロック室を有し、反応室を大気開放することがないため、再現性に 優れた成膜が可能です。 また、...
メーカー・取り扱い企業: サムコ株式会社
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