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ウエハフラットネス測定システム!
システムです。 ウエハサンプルのフラットネス(TTV、BOW、WARP)、厚さを測定します。 厚さ、TTV、BOW、Warp、サイトフラットネス、グローバルフラットネス の測定に対応 (ASTM準拠)しており、CSVファイルでのデータ出力も可能 です。 また、お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です。 【特長】 ■2-D,3-Dマッピング表示対応のソフトウエア ■...
メーカー・取り扱い企業: ナプソン株式会社
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