汎用型マスフローコントローラ『1179C』

標準3インチフットプリントで既存のガスラインを変更することなく設置可能…

『1179C』は、様々なアプリケーションに対応する汎用型の マスフローコントローラです。 10sccm～20simのフルスケールレンジがあり、0.2sccmの低流量まで 高速で再現性の高い流量制御が可能です。 また適合する圧カトランスデューサを接続することで圧力制御装置 としても使用可能。ほとんどの一般的なMFCと直接置換え可能です。 電気コネクタは業界標準品と同じピン配置...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

インテリジェントリモートプラズマソース『Paragon（R）』

NF3最大流量8slm、独自のPEOプラズマブロック設計によりプロセス…

「Paragon（R）」は、量産実績のあるMKS低磁場トロイダルプラズマ源の特性を基に、次世代ナノプロセス開発と製造に、より適したデータ転送と制御性を実現しました。 CVDおよびALD／ALEプロセスチャンバークリーニングに対応し、8slmのNFガス流量および最大10Torrの圧力条件においても高い分析効率（＞98％）が得られます。 【特長】 ■NF最大流量8slm、コンパクトな設計でク...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

『Baratron600シリーズ』

優れた長期安定性でプロセスの再現性を実現！キャパシタンスマノメータ

『Baratron600シリーズ』は、苛酷なプロセス環境においても正確で 再現性の高い圧力、真空測定が可能なように設計されたRoHS対応の 絶対圧型キャパシタンスマノメータです。 最も安定性の高い低圧測定圧力トランスデューサとして利用されています。 【特長】 ■最小2.66PaF.S.を実現 ■ガスの成分に関係なく、トータル圧力を直接測定 ■読みの％精度で、1×10-4F.S...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社