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イオンソースを使用し、加工対象物にイオンビーム照射をし、ドライエッチン…
作圧力:3.0×10-2Pa台 ○シングルステージ →水冷機構 →3軸動作 自転・入射角度・円弧移動 →不定形基板~Max 6inchまで選択可能 ○排気系 →主排気:TMP または Cryo-pump →粗挽き:ドライポンプ または ロータリーポンプ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業: アールエムテック株式会社
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