プログラマグルスパッタコーター　SC-701HMCII

Ni／Cr／Wなどに対応！ ソフトウェア制御で高精度コントロールを実現

【仕様】 ○ターゲットサイズ：φ49ｍｍ ○試料台サイズ：φ70ｍｍ ○排気操作：自動 ○スパッタ方式：DCスパッタ　マグネトロン型 ○スパッタリング電流／電圧：0～50ｍA／0～3ｋV（システム制御） ○チャンバーサイズ：160（φ）×160（D）ｍｍ（SUS製） ○ガス導入機構：ニードルバルブ（...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社