【資料】材料系解析事例

30nmから5μmの切片作製が可能！材料系解析事例を複数ご紹介した資料…

、変色、残渣、凹凸、破面 　・光学顕微鏡、SEM、EDX、AES、X線回折、AFMなど ■断面分析：組織、膜厚、拡散、酸化、表面変質 　・光学顕微鏡SEM、EDX、AES、TEM、STEM、EELSなど 　※断面加工方法：切断、劈開、機械研磨、CP加工、FIB加工など ■深さ方向分析：膜組成、拡散、表面酸化、変色、表面変質 　・AES、XPS、GD-OES ※詳しくはPDF資料を...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社花市電子顕微鏡技術研究所