ケミカルフィルタシステム「リソガード12」

ArF液浸露光など、ハイエンド半導体露光装置向けケミカルフィルタシステ…

「リソガード12」は、ArF液浸露光を始めとするハイエンド半導体露光装置向けに開発された、酸性・塩基性・凝縮性有機ガス除去用HEPAフィルタ付高効率ケミカルフィルタシステムです。 キャビネット内にLPSフィルタまたはBSMmaxフィルタ１２枚とHEPAフィルタ６枚を搭載しています。 低濃度環境下においても高い汚染物質除去性...

メーカー・取り扱い企業： 日本ドナルドソン株式会社

【新製品】コロナ禍で災害が起きたら…対策用装置2種

新型コロナと自然災害の「複合災害」リスク回避を望む声をきっかけに開発に…

X W535 X H1050 総重量：70Kg 【ウイルス不活化ポータブル換気設備「モテるんです」】 特徴 ・ハンドキャリー型集塵機の課題だった、処理風量と清浄度の両立が可能に ・HEPAに準じた高清浄度のフィルターでサブミクロン粒子を捕集、さらにオゾン発生装置を組み込み、ウイルスの不活化が可能 ・フィルター交換は本体に巻き付けるだけ ・ハンドキャリー型では業界最大の処理風量（...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社流機エンジニアリング