ケミカルフィルタシステム「リソガード12」

ArF液浸露光など、ハイエンド半導体露光装置向けケミカルフィルタシステ…

「リソガード12」は、ArF液浸露光を始めとするハイエンド半導体露光装置向けに開発された、酸性・塩基性・凝縮性有機ガス除去用HEPAフィルタ付高効率ケミカルフィルタシステムです。 キャビネット内にLPSフィルタまたはBSMmaxフィルタ１２枚とHEPAフィルタ６枚を搭載しています。 低濃度環境下においても高い汚染物質除去性...

メーカー・取り扱い企業： 日本ドナルドソン株式会社

レーザー加工用　小型集塵機 『AD Oracle iQ』

高い技術力BOFAシリーズ「小型」「高効率」「使い易いモニター」のレー…

ンドです。 BOFA集塵機は、数多くの賞の受賞により証明されている技術力。 「溶接ヒューム」「集じん」「有機ガス」の対応を小さなボディーで、効率的に、処理します。 【特徴】 ・ 「HEPA + カーボンフィルター」 ・ 電圧フリー ・ 自動流量制御 ・ 各フィルター使用状況管理 ・ 運転条件データの保存（365日分) ・ 有機ガスセンサー (オプション) ・ ドア開口警...

メーカー・取り扱い企業： 日本ドナルドソン株式会社