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バルブの開閉をセンシングします!
■半導体製造装置用 超小型IoTバルブ 超小型ダイヤフラムバルブに小型センサを搭載することで、 超小型IGS(集積化ガス供給システム)にてIoT化を実現し、 正確な開閉検知が可能になりました。 ・耐久性:400万回(実験...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社
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