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流量計に熱式流量計を採用!1~25mL/minの微小領域のコントロール…
とアラーム状態の確認ができます。 【特長】 ■1~25mL/minの微小領域のコントロールが可能 ■バルブユニットとコントローラユニットを一体型 ■小さいスペースで取り付けが可能 ■LED表示灯により、電源状態、流量制御状態、アラーム状態を確認できる ■通信ポートを本体側面に装備し、専用オペレーションソフトにより 動作状態とアラーム状態の確認ができる ※詳しくはPDF資...
メーカー・取り扱い企業: サーパス工業株式会社 本社
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