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有機金属原料および酸化剤を交互に反応室に供給し、表面反応のみで成膜しま…
『AD-230LP』は、原子レベルの膜厚制御が可能なALD装置です。 有機金属原料および酸化剤を交互に反応室に供給し、表面反応のみで成膜。 ロードロック室を有し、反応室を大気開放することがないため、再現性に 優れた成膜が可能です。 また、容量結合プラズマ(CCP)方式を採用することで、反応室容積を最小化 しており、ガスのパージ時間を短縮し、1サイクルを高速化します。 【特長...
メーカー・取り扱い企業: サムコ株式会社
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低い圧力で、多流量を供給!本体が真鍮(しんちゅう)製の配管用圧力調整器
当社では、工場内のガス配管ヘッダに取付けて使用いただける 配管用圧力調整器を取り扱っております。 適用ガスが酸素ガスの「GLU-30型」をはじめ、アセチレンガス適用の 「GLU-10A型」やLPG適用の「GLU-10P型」をラインアップ。 本体は真鍮(しんちゅう)製、パネル取付式もご用意しております。 【特長】 ■工場内のガス配管ヘッダに取付けて使用 ■本体は真鍮(しんち...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社千代田精機 本社
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