ロードロック式プラズマALD装置『AD-230LP』

有機金属原料および酸化剤を交互に反応室に供給し、表面反応のみで成膜しま…

『AD-230LP』は、原子レベルの膜厚制御が可能なALD装置です。 有機金属原料および酸化剤を交互に反応室に供給し、表面反応のみで成膜。 ロードロック室を有し、反応室を大気開放することがないため、再現性に 優れた成膜が可能です。 また、容量結合プラズマ(CCP)方式を採用することで、反応室容積を最小化 しており、ガスのパージ時間を短縮し、1サイクルを高速化します。 【特長...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

配管用圧力調整器『GLU-30型/10A型/10P型』

低い圧力で、多流量を供給！本体が真鍮(しんちゅう)製の配管用圧力調整器

当社では、工場内のガス配管ヘッダに取付けて使用いただける 配管用圧力調整器を取り扱っております。 適用ガスが酸素ガスの「GLU-30型」をはじめ、アセチレンガス適用の 「GLU-10A型」やLPG適用の「GLU-10P型」をラインアップ。 本体は真鍮(しんちゅう)製、パネル取付式もご用意しております。 【特長】 ■工場内のガス配管ヘッダに取付けて使用 ■本体は真鍮(しんち...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社千代田精機 本社