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世界最小クラスのサイズと電力を同時に実現!あらゆる製造装置に組み込みが…
『MU-X シリーズ』は、同クラスで、世界最省クラスの省エネとフットプリントを 両立したルーツ型ドライ真空ポンプです。 あらゆる製造装置に組込みが可能です。 ロードロック及び搬送室等のクリーン排気プロセス用途に最適です。 【仕様】 ■消費電力0.35kW ■A3以下の230×450mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...【ラインアップ...
メーカー・取り扱い企業: 樫山工業株式会社
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省エネ「だけじゃない」!世界最小クラスのサイズと電力を同時に実現
『MU-P/Hシリーズ』は、省エネでありながら、プロセス耐性に優れた ルーツ型ドライ真空ポンプです。 軽負荷から中負荷までのあらゆる製造装置に組み込みが可能です。 「MU-Hシリーズ」は、更なる耐プロセス性向上のため、HOT-N2パージの 搭載も可能です。 【特長】 ■プロセス耐性:ポンプ高温化、パージ増量 ■消費電力0.7kW:プロセス向けルーツ型ポンプ省エネタイプ ...
メーカー・取り扱い企業: 樫山工業株式会社
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