サブミクロンフィードバックステージシステム（精密位置決め装置）

サブミクロン分解能で位置決め！エンコーダ内蔵で再現性に優れ、20～40…

■高分解能、再現性 コントローラ内蔵のモータードライバーによりサブミクロン分解能でステージを動作させ、 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、 高分解能で再現性に優れています。 ステージコントローラにより、100nm（0.1μm）か50nm（0.05μm）分解能で動作します。 ■長ストローク 最大400mmの可動ができます。 これによ...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社