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ワークをクリーンに水切り乾燥します。
【仕様】 ○駆動エアー 0.3Mpa (3Kg/cm2) ○最大処理量 8インチ×25枚キャリア 1キャリア ○ULPAフィルタ 有 ○イオナイザ 有 ○制御 PLC・インバータ ○操作部 タッチパネル ○運転レシピ登録数 5種類 ○回転数 3,500rpm (5インチまで・6インチ以上は3,000rpm) ○モータ インバータモータ ○電源 AC2...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社コクサン
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クレードル起し機構により、自動でクレードルを起します。
○最大処理量 6インチキャリア×2架 5インチ以下キャリア×2架又は4架 ○許容積載重量 2,000g以内(各クレードルへの積載重量) ○ULPAフィルタ 有 ○イオナイザ 有 ○制御 PLC・インバータ ○操作部 釦スイッチ ○回転数 1,000rpm(常用回転数 800rpm) ○モータ インバータモータ ○電源 AC200V 3φ 50/60Hz 15A ○寸法 800...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社コクサン
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