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イオンソースを使用し、加工対象物にイオンビーム照射をし、ドライエッチン…
【装置仕様概略】 ○エッチング用イオンソース →DC 11cm ION SOURCE →SOLUS POWER SUPPLY ○真空チャンバー →到達圧力：6.0×10-5Pa台 →動作圧力：3.0×10-2Pa台 ○シングルステージ →水冷機構 →3軸動作 自転・入射角度・円弧移動 →不...
メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社
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